[发明专利]一种干湿混合填充的纳米金属填孔方法在审

专利信息
申请号: 202111335835.9 申请日: 2021-11-11
公开(公告)号: CN114051332A 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 杨冠南;张坤;吴润熹;崔成强;张昱 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: H05K3/42 分类号: H05K3/42
代理公司: 佛山市君创知识产权代理事务所(普通合伙) 44675 代理人: 王瑞长
地址: 510000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种干湿混合填充的纳米金属填孔方法,包括以下步骤;(1)将微纳金属颗粒固体或微纳金属膏体涂覆填充于样品基板的待填孔中;(2)让微纳金属颗粒固体或微纳金属膏体完全填满待填孔;(3)向待填孔中添加湿润介质或干燥介质,形成微纳金属干湿混合体,以改变待填孔中原来填充料的湿润度;(4)通过施加外部作用力,对待填孔表面的微纳金属干湿混合体进行紧实处理;(5)对样品基板待填孔中的微纳金属干湿混合体进行热压烧结,完成样品基板的填孔加工。本发明有利于提高通孔、盲孔互连结构的导热导电性能以及致密度,并且有利于确保填充材质与电路基板的热膨胀系数匹配。
搜索关键词: 一种 干湿 混合 填充 纳米 金属 方法
【主权项】:
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