[发明专利]一种柔性弹性氧化物铁电薄膜传感器在审
| 申请号： | 202111339292.8 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN116133508A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 袁国亮;邢益菘;唐晓龙;张骥 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | H10N30/88 | 分类号： | H10N30/88;H10N30/30;H10N30/85;H10N30/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 邹伟红 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性弹性氧化物铁电薄膜传感器。该传感器具有褶皱结构，包括依次连接的金箔、绝缘薄膜、平行下电极、氧化物铁电薄膜、平行上电极。本发明的传感器，氧化物铁电薄膜是传感器的功能层，“下电极/铁电薄膜/上电极”是传感器基本单元，平行下电极与平行上电极相互垂直，形成由若干单元构成的传感器，传感器的厚度为0.5μm至10μm，含有规则排列的褶皱结构，因此传感器柔韧性好，具有弹性和延展性，可以转移到人体和动物皮肤、植物表皮、人造有机物或无机物表面，并感知上述物体应变和温度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 弹性 氧化物 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
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