[发明专利]一种太赫兹片上集成芯片及其控制方法、片上集成系统有效
| 申请号： | 202111339527.3 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114199813B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 崔洪亮;常天英;魏东山 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586;G02F1/21;G02F1/35 |
| 代理公司： | 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 | 代理人： | 李兴生 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种太赫兹片上集成芯片及其控制方法、片上集成系统。片上集成芯片包括：通过光栅耦合微结构将闲频光波耦合进非线性材料，产生太赫兹波；将太赫兹波和剩余的闲频光波沿着多层薄膜波导结构进行传输；太赫兹长周期光栅耦合结构将太赫兹波耦合到待测生物样本上；通过光学干涉结构臂探测太赫兹波是否与待测生物样本相互作用引起的光程差，实现待测生物样本对太赫兹波吸收特性的检测。本发明针对生物样本检测应用的太赫兹传感器难以高质量片上集成的问题，设计了一种集太赫兹产生、传输、调控、探测于一体的芯片结构，能够保证芯片上太赫兹非线性混频的高质量产生、高效率传输和抗干扰探测，缩短太赫兹生物检测中水作用距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 集成 芯片 及其 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
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