[发明专利]一种化学机械抛光浆料及其制备方法在审
| 申请号： | 202111345380.9 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN113980579A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 戴永忠;戴日涛 | 申请（专利权）人： | 上海利客抛光材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 马正红 |
| 地址： | 201611 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种化学机械抛光浆料及其制备方法，涉及抛光技术领域。本发明按照质量百分比计，包括15‑25份无机抛光粉、5‑10氧化剂、0.1‑1份表面活性剂、0.1‑1份消泡剂、1‑2份增稠剂、1‑2份PH调节剂以及100份去离子水；无机抛光粉采用CeO |
||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 浆料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海利客抛光材料有限公司，未经上海利客抛光材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111345380.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高韧性PA66材料及其制备方法
- 下一篇：一种起机系统及控制方法
