[发明专利]一种用于碳化硅外延工艺的蝶阀智能控制方法及系统有效
| 申请号： | 202111347402.5 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN114047732B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 林伯奇;吴限;周立平;程文进;龙长林 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 廖元宝 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于碳化硅外延工艺的蝶阀智能控制方法及系统，此方法包括步骤：S01、获取历史工艺数据中相同工艺条件下的蝶阀开度历史数据；S02、基于蝶阀开度历史数据变化趋势，预测当前工艺状态下蝶阀开度趋势数据；S03、基于蝶阀开度趋势数据，在压力处于预设阈值范围内时，按照预定周期对蝶阀开度实施调节，实现蝶阀开度的低频次智能控制；S04、在压力超出预设阈值时，立即切换进入正常压力控制模式，待压力稳定后再重复S01～S03。本发明的蝶阀开关频次低，能够降低密封圈等蝶阀相关配件的成本消耗，提高设备的维护周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 外延 工艺 智能 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
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