[发明专利]一种三氯化镓制粒包装装置及方法有效
| 申请号： | 202111349636.3 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN114210259B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 刘华胜;徐成;胡郑周;周声万 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J2/06 | 分类号： | B01J2/06;B01J19/14;B65B1/00;B65B39/00;C01G15/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 朱伟雄 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了三氯化镓制粒包装装置，包括：反应器、制粒软管、压力平衡器、惰性气体单元、真空单元和产品包装瓶，制粒软管可拆卸地设于压力平衡器内，反应器通过导流管与制粒软管连通，真空单元通过抽真空管道分别与制粒软管、压力平衡器连通，惰性气体单元通过惰性气体管道分别与压力平衡器、制粒软管连通，制粒软管包括软管本体，软管本体的一端开口设有与软管本体开口密封适配的转接接头，转接接头可与导流接头、堵头或产品包装瓶的瓶口密封连接，导流接头与导流管、抽真空管道密封连接。还提供三氯化镓制粒包装方法。该方法成本低、操作简单便捷，安全环保、产能大效率高，运行平稳可靠，易于批量化生产，且产品纯度高而稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 镓制粒 包装 装置 方法 | ||
【主权项】：
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