[发明专利]一种高折射率对比DBR的倒装VCSEL结构及其工艺方法在审
| 申请号： | 202111357669.2 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114188816A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 方照诒 | 申请（专利权）人： | 深圳市德明利光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/024 | 分类号： | H01S5/024;H01S5/183 |
| 代理公司： | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人： | 何兵 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种高折射率对比DBR的倒装VCSEL结构及其工艺方法，以欧姆金属取代了部分Al |
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| 搜索关键词： | 一种 折射率 对比 dbr 倒装 vcsel 结构 及其 工艺 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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