[发明专利]一种光刻胶的润湿性的检测方法在审
| 申请号： | 202111360306.4 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114136844A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 施语辰 | 申请（专利权）人： | 上海梭伦信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/02 | 分类号： | G01N13/02 |
| 代理公司： | 上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336 | 代理人： | 牟俊玲 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶的润湿性的检测方法，属于半导体及晶圆、OLED、液晶屏等高精密加工技术领域。本检测方法通过检测液态光刻胶/硅片和固态光刻胶膜/水两个不同层的接触角的三明治效应，以及液态光刻胶的三明治效应分层表面张力，准确的分辨出了合格的光刻胶（进口）与国内光刻胶的区别，有效的避免了单一光刻胶膜静态接触角及增加、减少液体前进后退角法检测的效力差的问题，极大提升了国内光刻研制过程表征的准确性，在半导体、晶圆、硅片、新材料研究、仿生材料等行业具有非常高的作用，具有极高的推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 润湿 检测 方法 | ||
【主权项】：
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