[发明专利]一种单晶炉热场生成方法在审
| 申请号： | 202111360854.7 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114048659A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 惠宝锋;马元良;高俊伟 | 申请（专利权）人： | 青海民族大学 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;C30B15/14;C30B15/20;C30B29/06;G06F119/06;G06F119/08 |
| 代理公司： | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人： | 代维凡 |
| 地址： | 810007 青*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉热场生成方法，所述单晶炉热场生成方法包括：S1：对原单晶炉热场进行扩容处理，得到单晶炉热场参数；S2：根据所述单晶炉热场参数，对所述单晶炉热场进行仿真模拟，得到仿真模拟结果；S3：对所述仿真模拟结果进行分析处理，得到分析处理结果；S4：根据所述分析处理结果对所述原单晶炉热场参数进行修改，得到新的单晶炉热场。本发明所提供的单晶炉热场生成方法，能够解决现有的单晶炉热场在生产过程中，生成的单晶硅尺寸唯一，且由于尺寸较小，同等功率下生产效率低下的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉热场 生成 方法 | ||
【主权项】：
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