[发明专利]一种飞秒深紫外五倍频激光器

摘要

本申请提供的飞秒深紫外五倍频激光器，包括基频飞秒激光器(1)、二倍频模块(2)、双色镜(3)、双色镜(4)、四倍频模块(5)、五倍频模块(6)、第一反射镜(7)及第一反射镜(8)，本申请提供的飞秒深紫外五倍频激光器，二倍频后使用高度可靠、损耗低、成本低的分色镜将二倍频激光与基频激光分离，产生合适的延迟线再合束来补偿后续四倍频、五倍频产生的时间走离，由于采用的是基频与二倍频的分束、合束，所使用的器件高度可靠、损耗低、成本低，可以避免四倍频分光镜的使用，同时可以有效补偿基频光和四倍频光的时间走离，这样飞秒深紫外五倍频激光器可靠性高、成本低、损耗低、倍频效率高。