[发明专利]一种高速热盘密封腔开启结构

摘要

本发明公开了一种高速热盘密封腔开启结构，包括工作台，所述工作台上固定安装有晶圆加工箱，所述工作台上安装有两组支撑座，所述支撑座上固定安装有电动推杆，所述电动推杆活塞杆一端连接有传动杆，所述传动杆的端部通过连接件连接有遮光板，所述遮光板上安装有第一密封圈，所述晶圆加工箱的一侧开设有取片口，所述第一密封圈紧密贴合在取片口上，本发明提高了加工晶圆的箱体侧部的取片口的密封性，也增加了排放有害气体的管道与晶圆加工箱之间、管道与管道之间的密封性，在很大程度上减少了有害气体的泄漏，提高了设备作业时的安全性，有利于工作人员的身体健康。