[发明专利]一种微孔陶瓷吸附平台及基于其制备无印记产品的方法在审
申请号: | 202111365112.3 | 申请日: | 2021-11-17 |
公开(公告)号: | CN114063397A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 庞军星;乔晓光;党康康 | 申请(专利权)人: | 华天慧创科技(西安)有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 张宇鸽 |
地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种微孔陶瓷吸附平台及基于其制备无印记产品的方法,不含有传统的沟槽设计,从而解决超薄玻璃印记的技术,替代传统沟沟槽类真空吸附平台,基于该吸附平台制备无印记产品时,依次进行图形光刻、涂覆黑胶薄膜、软烤、曝光和固化,得到无印记产品。制作工艺简单,易于操作。验证制作的微孔陶瓷吸附平台的设备匹配性,重量,平坦度,吸附效果,破真空效果,微粒附着状况;通过相同工艺条件,对比传统沟槽吸附平台与微孔陶瓷吸附平台光刻后暗场强光灯下观察,确认使用微孔陶瓷吸附平台做出的产品,吸附印记异常消失。 | ||
搜索关键词: | 一种 微孔 陶瓷 吸附 平台 基于 制备 印记 产品 方法 | ||
【主权项】:
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