[发明专利]一种转镜式光源时分复用的直写曝光系统在审
| 申请号： | 202111367132.4 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114137802A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 梁辉;周朝阳 | 申请（专利权）人： | 深圳光迪科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 王本晋 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市福田区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种转镜式光源时分复用的直写曝光系统，包括依次设置的：光源、照明模块、转镜式时分复用模块、N对数字微镜阵列和投影模块；控制模块，分别与所述光源、转镜式时分复用模块、数字微镜阵列电性连接，以用于输出所述第一时序指令、第二时序指令、曝光指令。本方案通过转镜式时分复用模块可以把单一光路的切换成N路输出，结合控制模块对光源和数字微镜阵列的时序控制，进而实现单个光源对两路DMD，甚至多路DMD的分时复用，在同样的产能要求下，可以使用更少的光源，大大降低设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转镜式 光源 时分 曝光 系统 | ||
【主权项】：
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