[发明专利]纳米阵列制备系统及纳米阵列制备方法有效
| 申请号： | 202111367350.8 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114221208B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 徐少林;黄佳旭;徐康 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | H01S5/02253 | 分类号： | H01S5/02253;H01S5/02255;H01S5/0239 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 洪铭福 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米阵列制备系统及纳米阵列制备方法。其中，纳米阵列制备系统包括：激光器，用于生成激光，并用于在基板的第一路径辐照生成第一纳米阵列；控制器，与激光器连接；位移台，用于承载基板；其中，激光器包括光束整形模块，光束整形模块用于生成平顶线聚焦光束；控制器还用于控制位移台移动预设距离，以使激光在基板的第二路径辐照生成第二纳米阵列；其中第一纳米阵列与第二纳米阵列间呈现交错排布，并在连续扫描中生成类蜂窝状的二维纳米结构。本发明的纳米阵列制备方法能够实现纳米阵列的高效大面积制备。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 阵列 制备 系统 方法 | ||
【主权项】：
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