[发明专利]一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备在审
申请号: | 202111370502.X | 申请日: | 2021-11-18 |
公开(公告)号: | CN114089725A | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 侯为萍;周庆亚;杨元元;张文斌;孟晓云 | 申请(专利权)人: | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05B23/02 | 分类号: | G05B23/02 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 刘静 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备,该方法包括:对控制软件的目标模块进行功能性分析,获取目标功能;确定目标模块的测试类别中的目标测试类别,以对控制软件的上层功能逻辑或底层代码进行测试;根据目标功能生成目标测试类别的测试用例;基于测试用例对目标模块进行测试。本发明提供的技术方案,通过分析CMP控制软件的各个功能模块的功能,从而对应生成符合模块功能的黑盒测试和白盒测试的测试用例,实现了对CMP控制软件进行完备测试的功能,提高了CMP控制软件的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 cmp 设备 控制 软件 测试 方法 装置 电子设备 | ||
【主权项】:
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