[发明专利]图形化蓝宝石衬底及其制备方法、LED外延片在审
| 申请号： | 202111370654.X | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114093992A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 向容;孙逊运;孔德媛 | 申请（专利权）人： | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张金铭 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市高新技术开*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体光刻技术领域，尤其是涉及一种图形化蓝宝石衬底及其制备方法、LED外延片。图形化蓝宝石衬底，包括衬底本体和凸起于所述衬底本体上表面的周期性复合结构；所述复合结构包括圆锥体和若干个凸出或凹入所述圆锥体的圆锥面的微结构；所述微结构的横截面积自底部向顶部逐渐减小，并在顶部与所述圆锥体的顶点相交。本发明的图形化蓝宝石衬底，具有规律的沟壑图形，具有棱角，一方面最大化侧边生长，有效抑制外延增长的失配位错，另一方面进一步改变入射光的光路，有效的增加光的散射，增加了光从蓝宝石衬底的出射几率，进一步提高了光的提取效率。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 蓝宝石 衬底 及其 制备 方法 led 外延 | ||
【主权项】：
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