[发明专利]一种碳化硅动静态测试一体机有效
| 申请号： | 202111373271.8 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN113805031B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 杜浩晨 | 申请（专利权）人： | 陕西开尔文测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 崔瑞迎 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体测试设备技术领域，具体涉及一种碳化硅动静态测试一体机，包括测试设备主体和进样装置，所述进样装置包括立柱，所述立柱顶部转动连接有活动柱，所述活动柱铺设有导线，所述导线与所述碳化硅器件接口端连接的一端连接有导电金属柱，所述导电金属柱固定在活动柱底部；所述立柱的侧方设有固定架，所述固定架上安装有样品存储箱、样品传送装置、高度调节装置、样品回收箱和控制器。本发明开发出了与碳化硅测试设备配套使用的可连续测试的、适用于动静态结合测试的进样装置，不仅可将待检的所有碳化硅器件连续性测试，还可模拟碳化硅器件的静态使用过程和动态使用过程的位置变化，准确度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 静态 测试 一体机 | ||
【主权项】：
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