[发明专利]一种直拉法单晶硅棒生产的镓元素掺杂方法在审
| 申请号： | 202111373534.5 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114059152A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 文勇;王艺澄 | 申请（专利权）人： | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉法单晶硅棒生产的镓元素掺杂方法，具体包括以下步骤：（1）将冰冻的纯镓称量，硅料称量，混合置于小型坩埚中；（2）同一热场中多个小型坩埚放置在一起，同时熔化；（3）待熔化完成后，快速冷却结晶，生产出镓‑硅母合金；（4）将生产的镓‑硅母合金和硅料放入坩埚中同时熔化，熔化后的硅液将镓‑硅母合金中的镓元素浓度进行稀释；（5）熔化后进行直拉法单晶生长；该方法简单易行，有效解决掺镓单晶硅棒初次投料后晶体生长困难，容易产生位错的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉法 单晶硅 生产 元素 掺杂 方法 | ||
【主权项】：
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