[发明专利]物镜的光瞳像差的补偿在审
| 申请号： | 202111375656.8 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114594596A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 杨征 | 申请（专利权）人： | 赫克斯冈技术中心 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 瑞士赫*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及物镜的光瞳像差的补偿。一种包括物镜(20)的物镜系统，物镜(20)包括一组光学元件，光学元件的光学特性引起物镜的光学像差，光学像差至少包括引起光束的边缘光线相对于光束的主光线的像差的图像像差和引起第一交点相对于第二交点沿物镜(20)的光轴的横向偏移的光瞳像差，第一交点由光轴与具有第一入射角的第一主光线的交点来定义，第二交点由光轴和具有第二入射角的第二主光线的交点来定义，第一入射角不同于第二入射角。系统包括光学补偿元件(25)，光学补偿元件(25)被配置成操纵透过该光学补偿元件(25)的光的传播路径，其中该光学补偿元件(25)相对于物镜(20)被配置和设置成使得由光瞳像差引起的横向偏移减小。 | ||
| 搜索关键词： | 物镜 光瞳像差 补偿 | ||
【主权项】：
暂无信息
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