[发明专利]一种面弯曲模双耦合的单片式高灵敏石英音叉真空传感器在审
| 申请号： | 202111381581.4 | 申请日： | 2021-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN114112184A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 初思搏;周烨;林金秋;初奇伟;周佳辉;林江 | 申请（专利权）人： | 常州奇军苑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/16 | 分类号： | G01L21/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及石英真空传感器技术领域，且公开了一种面弯曲模双耦合的单片式高灵敏石英音叉真空传感器，它包括叉臂数量n≥3的面弯曲模的单片型双开端多叉臂石英音叉真空敏感谐振器、可伐合金基座、真空传感器壳体、信封形插板式固定结构、聚四氟乙烯—膨胀石墨组合斥水密封垫、陶瓷纤维防水密圈、抗污防霉过滤罩、在‑180至+350℃可自恢复自净化的防尘抗油污陶瓷过滤帽。所述面弯曲模的单片型双开端多叉臂石英音叉真空敏感谐振器采用的是(yxtl)‑24°～‑50°/5°～15°切型双转角石英晶体、基波‑面弯曲振动模式，并通过增大臂宽及对各叉臂电极面积进行“海明加权”，增加与真空中残存气体摩擦和质量加载，提升其动态电阻的变化量，改善真空灵敏度、稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弯曲 耦合 单片 灵敏 石英 音叉 真空 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州奇军苑电子科技有限公司，未经常州奇军苑电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111381581.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种汽车尾翼结构
- 下一篇：环视镜片组件、镜头、摄像模组及摄像设备
