[发明专利]动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法在审
| 申请号： | 202111387670.X | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN114034880A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;张严;佟嘉程;王灯山 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法，该双轴陀螺包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和两对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性。 | ||
| 搜索关键词： | 热源 式双轴 微机 角速度 传感器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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