[发明专利]一种IBC结构锑化镓热光伏电池及其制备方法

摘要

本发明涉及一种IBC结构锑化镓热光伏电池的制备方法，属于热光伏电池技术领域。本发明的制备方法包括以下步骤：S1、将P型GaSb晶片清洗干燥；S2、在P型GaSb晶片正面进行纹理刻蚀，并制备Si3N4或Ta2O5减反膜；S3、在P型GaSb晶片的背面抛光后制备SiO2或TiO2钝化层，然后定义出N+型区域，去除钝化层，通过热扩散硒形成N+型扩散层；S4、在P型GaSb晶片的背面补充沉积钝化层，然后定义出P+型区域，去除钝化层，通过热扩散锌形成P+型扩散层；S5、再次在P型GaSb晶片的背部补充沉积钝化层，然后定义出负电极区域和正电极区域，去除钝化层，制备负电极和正电极。本发明将IBC结构与GaSb热光伏电池结合，制备过程可靠有效，显著提高了GaSb热光伏电池的内外量子效率和输出功率密度。