[发明专利]一种去噪模型生成方法、系统、设备及介质在审
| 申请号： | 202111392331.0 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114049342A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 燕燕;时雪龙;周涛;许博闻 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T5/00;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种去噪模型生成方法、系统、设备及介质，该方法包括：获取晶圆光刻后的SEM图像集合；将所述SEM图像集合中相同坐标的SEM图像像素值叠加取平均值，得到目标图像集合；利用卷积神经网络模型对所述SEM图像集合中的SEM图像进行特征提取，得到SEM图像特征信息；获取所述目标图像集合的目标图像特征信息；利用所述SEM图像特征信息和所述目标图像特征信息对卷积神经网络模型进行训练，得到去噪模型。本发明通过获取目标图像集合中的目标图像特征信息，利用SEM图像特征信息和目标图像特征信息对卷积神经网络模型进行训练，得到去噪模型，采用该去噪模型实现对SEM图像进行去噪，提高了去噪的可靠性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模型 生成 方法 系统 设备 介质 | ||
【主权项】：
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