[发明专利]样品表面膜层厚度的测量方法有效
| 申请号： | 202111392715.2 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114061496B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 林琳;佘晓羽;陈文辉;刘丽娟;刘婧;冯路;锁志勇 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杜娟;骆希聪 |
| 地址： | 430079 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种样品表面膜层厚度的测量方法，包括：提供第一样品基底，第一样品基底不包含目标物质；在第一样品基底的表面上形成目标物质的第一膜层；检测第一膜层，获得目标物质在第一膜层中的含量，含量对应于第一表面定量分析方法的第一检测极限；检测第一膜层，获得目标物质的相对灵敏度因子；提供与第一样品基底相同的第二样品基底，在第二样品基底的表面上形成目标物质的目标膜层，目标膜层的厚度小于第一膜层的厚度；检测目标膜层，采用相对灵敏度因子计算目标物质在目标膜层中的原子浓度；根据原子浓度计算目标物质在目标膜层中的原子密度；以及根据原子密度和目标物质的参考原子密度的比值获得目标膜层的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 表面 厚度 测量方法 | ||
【主权项】：
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