[发明专利]一种真空宽温域自润滑薄膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202111393729.6 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114045463B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 刘晓红;李红轩;王茹;吉利;周惠娣;陈建敏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘丹丹 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： |
本发明属于功能薄膜技术领域，特别涉及一种真空宽温域自润滑薄膜及其制备方法和应用。本发明提供了一种真空宽温域自润滑薄膜，包括依次层叠复合的粘结层、过渡层和润滑层；所述粘结层的化学组成为Ti；所述过渡层的化学组成为Ti和TiB |
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| 搜索关键词： | 一种 真空 宽温域 润滑 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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