[发明专利]单片集成红外激光气体检测装置在审
申请号: | 202111393885.2 | 申请日: | 2021-11-23 |
公开(公告)号: | CN114199809A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 施跃春 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504;G01N21/01 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 李云 |
地址: | 210000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种单片集成红外激光气体检测装置,包括基底;激光器形成于基底表面,且包括依次连接的有源激光部和无源波导辐射部;有源激光部的波长制作在气体吸收峰;探测器的数量为两个,且形成于基底表面;两个探测器对称布置于无源波导辐射部的两侧;无源波导辐射部的两侧分别与两个探测器形成气体检测通道。本发明提供的气体检测装置包含了激光器与探测器两部分,激光器中的无源波导辐射部实现光在波导侧壁辐射,两个探测器制作在无源波导辐射部的侧面探测辐射光,无源波导辐射部与探测器中间的气体检测通道用于气室检测的功能,激光器波长制作在气体吸收峰,这样能够通过探测光吸收强度得到待测气体的浓度信息。 | ||
搜索关键词: | 单片 集成 红外 激光 气体 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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