[发明专利]腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器在审
| 申请号： | 202111397396.4 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114167625A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 郭小庆;王晓东;马维一;崔慧源;李云云 | 申请（专利权）人： | 上海微波技术研究所（中国电子科技集团公司第五十研究所） |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊 |
| 地址： | 200063 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种腔体加载谐振单元嵌套二极管的太赫兹调制器，包括矩形波导和调制芯片，调制芯片设置在矩形波导的腔体壁上；矩形波导上设置有输入波导口和输出波导口；调制芯片包括半导体衬底和置于半导体衬底上的人工微结构；半导体衬底一侧与矩形波导的腔体壁相接触，人工微结构与矩形波导的腔体壁不接触；矩形波导纵向上下两侧壁与调制芯片相接触，矩形波导纵向上下两侧壁上分别设置有空气窗，空气窗用于外部控制电路与芯片上的电极进行电气连接。本发明的调制芯片上的人工微结构采用极少的调制单元，与传统的大阵列设计相比，存在于大阵列结构中的寄生模式被有效抑制，这有利于芯片中二极管高频特性的发挥，从而提高器件的调制速率。 | ||
| 搜索关键词： | 加载 谐振 单元 嵌套 二极管 赫兹 调制器 | ||
【主权项】：
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