[发明专利]一种具有线性输出特性的声表面波温度传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202111400022.3 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114112102A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李凌;杨青;王一休;高兴俊 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G01K11/26 | 分类号： | G01K11/26 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 310023 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
发明公开了一种具有线性输出特性的声表面波温度传感器及工作方法。该声表面波温度传感器由两个声表面波谐振器组成，两个声表面波谐振器在同一硅酸镓镧衬底基片上但存在一定的非零度夹角，通过生长SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 线性 输出 特性 表面波 温度传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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