[发明专利]磁性悬臂梁传感器及其制作方法和测量装置、成像系统有效
| 申请号： | 202111400243.0 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114252815B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 薛高鹏;李星辉;王晓浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳国际研究生院 |
| 主分类号： | G01R33/022 | 分类号： | G01R33/022;G01R33/48;G01Q60/24;G01N24/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 方艳平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁性悬臂梁传感器，包括玻璃基底、硅基盖、硅基悬臂梁和磁球，其中所述玻璃基底的第一面上设有第一空腔，所述硅基盖的第一面上设有第二空腔，所述玻璃基底的第一面与所述硅基盖的第一面相对贴合并进行真空热压封装以使得所述硅基悬臂梁和所述磁球位于所述第一空腔和所述第二空腔组合形成的真空腔室，且所述玻璃基底的第一面与所述硅基盖的第一面在二者相贴合的位置处分别镀有相同金属材料形成的金属层，所述硅基悬臂梁的根部固定连接在所述玻璃基底的第一面上，所述磁球固定连接在所述硅基悬臂梁的悬臂端上。本发明还公开了磁性悬臂梁传感器的制作方法和相关的测量装置、成像系统。本发明大大提高磁性悬臂梁传感器的探测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 悬臂梁 传感器 及其 制作方法 测量 装置 成像 系统 | ||
【主权项】：
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