[发明专利]一种阵列式扭摆加速度计在审
| 申请号： | 202111402085.2 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114236177A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 刘国文;马智康;李兆涵;刘宇;赵亭杰;刘福民;张天祺 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 刘秀祥 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种阵列式扭摆加速度计，包含由4个或6个或8个敏感质量单元组成的阵列式敏感结构，其中，每两个相邻的敏感质量单元排布方向相反；每两个相间的敏感质量单元排布方向相同，且通过连接横梁形成刚性连接，连接横梁两端布置有应力释放结构。每个敏感质量单元中的敏感质量块采用三锚点四扭转梁结构，包含四条扭转梁和三个锚点，其中位于敏感质量块内部的锚点通过两条弹性扭转梁连接到敏感质量块，位于敏感质量块两侧的两块锚点分别通过一条弹性扭转梁连接到敏感质量块。敏感结构外侧布置有等电位锚点，在加速度计的阵列式敏感结构与电极间形成电学连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 扭摆 加速度计 | ||
【主权项】：
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