[发明专利]一种硅谐振压力传感器在审
| 申请号： | 202111403482.1 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114018445A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 李秋萍 | 申请（专利权）人： | 华科电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10;G01L9/00;G01L9/02 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 时嘉鸿 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种硅谐振压力传感器。所述硅谐振压力传感器包括导压板、压力敏感膜、谐振器和盖板；所述谐振器设置于所述压力敏感膜上方，并且，所述谐振器和压力敏感膜通过锚点相连；所述压力敏感膜设置于所述导压板上方；所述盖板与所述谐振器键合形成密封空间；其中，所述压力敏感膜采用硅薄膜。本发明提出的硅谐振压力传感器能够最大程度上提高硅谐振压力传感器的检测精度和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
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