[发明专利]一种在管网内表面上TiN涂层的沉积方法及装置

摘要

一种在管网内表面上TiN涂层的沉积方法，包括以下步骤：S1：对管网进行预处理操作；S2：将经预处理的管网连接到内表面涂层沉积设备上；S3：通过内表面涂层沉积设备对管网进行正负压交替涂覆的反应；S4：反应结束后取出管网。一种在管网内表面上TiN涂层的沉积装置，包括内表面涂层沉积设备，所述内表面涂层沉积设备包括原料气供应管道、加热炉、真空系统以及正负压控制系统；所述原料气供应管道连接至加热炉的进气口，所述加热炉的出气口连接真空系统；所述加热炉用于对管网进行加热，所述管网连接到加热炉的进气口与出气口；所述正负压控制系统对加热炉的进气口和出气口进行控制来对管网形成周期性的正负压状态。实现对复杂管网内表面的全部涂覆。