[发明专利]一种高刚度大承载超声波挤压悬浮轴承

摘要

本发明公开了一种高刚度大承载超声波挤压悬浮轴承，属于超声和流体润滑领域；包括支撑架、固定台以及通过固定台一起连接在支撑架上的振子；振子由前盖板、陶瓷片和后盖板中部通过预紧螺栓紧固连接在一起组成，前盖板的上端连接多孔质块，多孔质块的上端悬浮悬浮板；振子带动多孔质块高频振动，进而产生挤压效应，同时气源流经多孔质块产生静压效应，轴承工作时，挤压效应与静压效应相互耦合，可通过调节驱动电压和供气压力来改变挤压效应和静压效应，从而实现高刚度大承载的支承气膜。本发明可实现超声波挤压悬浮高刚度大承载的悬浮特性，能够克服装配误差及加工质量对挤压悬浮特性的影响，具有精度高、稳定性好及结构紧凑的优点。