[发明专利]电容式真空规稳定性测试辅助装置及测试方法有效
| 申请号： | 202111409072.8 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN113820069B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 陶硕;林立男;张琳琳;高乐;刘旭强;张永斌 | 申请（专利权）人： | 北京晨晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李梦晨 |
| 地址： | 100020*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容式真空规稳定性测试辅助装置及测试方法，其中电容式真空规稳定性测试辅助装置包括连接部，包括密封腔室和多个连接支路，多个连接支路并联设置、且第一端均与密封腔室连通，连接支路上设置有连接位、第一截止阀和第二截止阀，连接位位于第一截止阀和第二截止阀之间，第一截止阀位于连接位与密封腔室之间；第一真空泵组，用于对连接支路的内部进行抽真空操作；第二真空泵组，用于对密封腔室进行抽真空操作；气体回填系统，能够分别向密封腔室和连接支路回填气体，各个连接支路的第二端相互连通且与第一真空泵组和气体回填系统连接。解决了现有技术中在检测电容式真空规稳定性时存在的测试效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 真空 稳定性 测试 辅助 装置 方法 | ||
【主权项】：
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