[发明专利]绝缘板及包括绝缘板的基板处理装置在审
| 申请号： | 202111409104.4 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114566416A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李东穆;成珍一;金秀雄 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01B17/58 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用等离子体的基板处理装置，该装置能够利用设置有气隙的绝缘板来控制蚀刻率。所述基板处理装置包括：腔室，包括用于利用等离子体来处理基板的处理空间；以及支承模块，位于所述处理空间内，并且用于支承所述基板，其中，所述支承模块包括：支承板，用于接收高频电力；以及绝缘板，布置在所述支承板的下部，并且包括面对所述支承板的第一表面，其中，所述第一表面上形成有至少一个第一凹槽。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘 包括 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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