[发明专利]全方位动热源式单轴微机械加速度计及其加工方法在审
| 申请号： | 202111410208.7 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114002458A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 朴然 | 申请（专利权）人： | 朴然 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100085 北京市海淀区毛*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种全方位动热源式单轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括敏感层、基底层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器和一对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现单轴加速度的测量，能够敏感X轴上的输入加速度，测量范围大，抗冲击能力强。本发明继承了MEMS传感器的优点，而且具有体积小、重量轻、成本低等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺简单，量程大，可靠性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 全方位 热源 式单轴 微机 加速度计 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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