[发明专利]一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法在审
| 申请号： | 202111412501.7 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114240850A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 刘骊松;张旭;黄涛;夏霞 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06V10/44 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 储振 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法，包括:在晶圆上采集模板图像，在所述模板图像中提取模板；按预设方向移动晶圆并采集目标图像，根据所述模板在所述目标图像中进行模板匹配以获得匹配位置，获取所述模板和匹配位置之间的目标位移，将所述目标图像作为所述模板图像，进行下一次的所述提取模板和模板匹配以获得另一所述目标位移，当满足预设停止条件时停止采集图像和提取模板；根据累积的所述目标位移和晶圆实际位移获取所述实际像素尺寸。本发明提供了一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法，进行多次匹配，可以提高获取实际像素尺寸的速度、精度和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带电 粒子束 扫描 成像 设备 实际 像素 尺寸 获取 方法 | ||
【主权项】：
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