[发明专利]负性光刻胶及其制备方法、显示面板及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202111414854.0 申请日: 2021-11-25
公开(公告)号: CN114114838A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 姜庆;杨文萍;廖辉华;李荣荣 申请(专利权)人: 长沙惠科光电有限公司;惠科股份有限公司
主分类号: G03F7/038 分类号: G03F7/038;G03F7/004;G09F9/30
代理公司: 深圳市隆天联鼎知识产权代理有限公司 44232 代理人: 金云嵋
地址: 410000 湖南省长*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 本申请属于光刻胶技术领域,具体涉及负性光刻胶及其制备方法、显示面板及其制作方法。其中,负性光刻胶的制备方法包括:获取初始碱可溶性树脂,所述初始碱可溶性树脂中含有热引发剂;去除热引发剂,以制得目标碱可溶性树脂;将所述目标碱可溶性树脂与光刻胶基础材料按照预设比例进行混合,以制得不含热引发剂的负性光刻胶。本申请通过提纯初始碱可溶性树脂,减少或去除热引发剂,可延缓或避免热引发剂产生的小分子积聚在掩膜板上,保证了曝光精度和工厂的产能。
搜索关键词: 光刻 及其 制备 方法 显示 面板 制作方法
【主权项】:
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