[发明专利]一种自生成脊型波导的激光器制作方法在审
| 申请号： | 202111415222.6 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114400503A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李鸿建;郭娟 | 申请（专利权）人： | 武汉云岭光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/22 | 分类号： | H01S5/22 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 徐俊伟 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市东湖新技*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自生成脊型波导的激光器制作方法，包括如下步骤：S1，生长外延结构，并于外延结构的正上方覆盖掩膜层；S2，刻蚀部分掩膜层至露出外延结构；S3，于掩膜层上生长第一InP层，外延结构上无掩膜层遮挡的区域的第一InP层的生长速率快；S4，在第一InP层上生长接触层；S5，去掉掩膜层，进行电极制作，并进行减薄、解理、测试，以完成制作。本发明利用宽的介质掩膜，进行小面积外延生长，使得无掩膜区域InP盖层的材料生长速率快，缩短了外延生长时间，节省了时间和物料成本；选择区域生长InP盖层和接触层，自生成脊型波导，省去了脊型波导和接触条的制作，简化了激光器的工艺流程，而且该选择区域外延生长方法，重复性好，易于实现产业化量产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生成 波导 激光器 制作方法 | ||
【主权项】：
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