[发明专利]一种薄膜型热流传感器结构及其金属电极制备方法在审
| 申请号： | 202111418816.2 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114136501A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 王勇;代波;张小伟 | 申请（专利权）人： | 山东大学;西南科技大学 |
| 主分类号： | G01K17/06 | 分类号： | G01K17/06;H01L37/00 |
| 代理公司： | 成都知棋知识产权代理事务所(普通合伙) 51325 | 代理人： | 马晓静 |
| 地址： | 250100 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜型热流传感器结构及其金属电极制备方法，衬底上设有倾斜热电薄膜，倾斜热电薄膜两端设有高度绝缘薄膜，高度绝缘薄膜截面呈类梯形状，高度绝缘薄膜上表面和斜面上均设有金属电极，衬底两端设有贯穿孔，贯穿孔内设有金属导线，金属导线通过贯穿孔与衬底焊接固定，金属导线连接外部电压测量系统；本发明是在高导热且绝缘衬底上直接生长倾斜热电薄膜，其是通过倾斜角沉积方法获得倾斜热电薄膜，制备工艺简单，成本低，本发明传感器的薄膜厚度在纳米尺度，热容量小使得响应速度快，面积小从而确保对热流环境的干扰非常小，不会对待测物周围的气体流畅性造成影响，从而为快速精确测量热流提供可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 热流 传感器 结构 及其 金属电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
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