[发明专利]一种用于微型热电模块的薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202111419015.8 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114107927A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 汤惠淋;宋世金;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;郝传鑫 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微型热电模块的薄膜的制备方法，属于功能薄膜材料及器件领域。该方法包括以下步骤：(1)安装金属Cr靶材和金属Ni靶材；(2)打磨衬底，然后清洗打磨后的衬底，得到清洗后的衬底，打磨后的衬底的粗糙度为0.16μm≤Ra≤0.34μm；(3)在清洗后的衬底上，直流磁控溅射生长金属Cr薄膜；(4)在金属Cr薄膜上，直流磁控溅射生长金属Ni薄膜，得到Cr‑Ni复合薄膜。本发明通过对衬底材料打磨清洗后再生长薄膜，能够在直流磁控溅射沉积金属Cr‑Ni复合薄膜中，有效地改善Cr‑Ni复合薄膜的附着力，获得的Cr‑Ni复合薄膜表面光滑、金属光泽度高、组分均一，以及适用于微型热电模块焊接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微型 热电 模块 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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