[发明专利]一种碳化硅研磨设备有效
| 申请号： | 202111420775.0 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114274040B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 王蓉;李佳君;皮孝东;罗昊;沈典宇;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B37/11;B24B37/28;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 盛影影 |
| 地址： | 311200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅研磨设备，涉及半导体加工设备技术领域，包括：保温筒体，保温筒体内壁上设有第一加热元件，保温筒体底部开口处设有保温盖体，保温盖体与保温筒体配合连接；研磨组件，研磨组件设于保温筒体内，研磨组件包括由上向下依次同轴设置的第一研磨组件、行星盘和第二研磨组件，行星盘用于放置样品；驱动机构，驱动机构用于驱动第一研磨组件和第二研磨组件之间发生相对转动；研磨剂供应装置，研磨剂供应装置与保温筒体相连通。本申请的研磨设备可以将减薄和研磨一步完成，实现碳化硅片的快速研磨，提高了生产效率。同时，在高温下进行研磨加工则有利于降低加工过程引入的应力，进而提高了成品率，降低碳化硅晶片的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 研磨 设备 | ||
【主权项】：
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