[发明专利]微机电陀螺仪和补偿微机电陀螺仪中的输出热漂移的方法在审
| 申请号： | 202111424200.6 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114563013A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | L·奎利诺尼;L·G·法罗尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 黄海鸣 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及微机电陀螺仪和补偿微机电陀螺仪中的输出热漂移的方法。微机电陀螺仪包括：支撑结构；感测质量块，其以沿着驱动方向和感测方向的自由度被耦合至支撑结构，驱动方向和感测方向彼此垂直；以及校准结构，其面向感测质量块并且通过具有平均宽度的间隙而与感测质量块分离，校准结构相对于感测质量块可移动，使得校准结构的位移引起间隙平均宽度的变化。校准致动器控制校准结构相对于感测质量块的相对位置以及间隙的平均宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 陀螺仪 补偿 中的 输出 漂移 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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