[发明专利]一种微光学加速度计在审
| 申请号： | 202111428053.X | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114200162A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 姚远;王密信;潘德彬;王晨晟;耿安兵 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G01P1/00 |
| 代理公司： | 武汉凌达知识产权事务所(特殊普通合伙) 42221 | 代理人： | 刘念涛 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微光学加速度计，由上层的光收发模块，中间层的异构集成腔光力加速度敏感芯片以及下层的保护封盖封装在陶瓷基底上得到，还有间隔键合层，光收发模块由带有金属引线的氮化铝陶瓷基板以及激光器芯片和探测器芯片组成，异构集成腔光力加速度敏感芯片由多个光子晶体波导、MEMS敏感结构、光力传感结构以及谐振光栅耦合器组成，保护封盖为二氧化硅盖板，陶瓷基底带有金属焊盘；本发明集成了多级差分探测结构，抑制了激光器，探测器，MEMS机械振子敏感结构，拉链腔式腔光力传感等多种共模噪声，比现有的光学式加速度计具备更低的本底噪声，从而能够实现更高精度的加速度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微光 加速度计 | ||
【主权项】：
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