[发明专利]超高纯度超高密实度的球形硅微粉制备方法及其应用在审
| 申请号： | 202111429961.0 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114057202A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王宇湖;余佳佳;何文宇;郑海涛 | 申请（专利权）人： | 苏州西丽卡电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18;H01L23/29 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高纯度超高密实度的球形硅微粉制备方法，包括如下步骤：1)、将反应容器加热至800～1000℃；2)、在常温条件下，利用超声波雾化器以高纯氧气为雾化介质将硅烷输送至步骤1)中的反应容器内，在硅烷进入反应容器时被雾化成球形小颗粒；同时，球形小颗粒与高纯氧气进行化学反应，形成球形硅微粉；3)、冷却并收集步骤2)中的球形硅微粉。该制备方法的工艺简单，能耗低，其所制备的球形硅微粉的表面较光滑，且具有超高的纯度和超高的密实度。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 纯度 密实 球形 硅微粉 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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