[发明专利]一种薄膜探针卡及其探针头有效
| 申请号： | 202111431283.1 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114200279B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 赵梁玉;于海超;王艾琳 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/073 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 徐丹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜探针卡及其探针头，该薄膜探针卡包括薄膜探针头（3），该薄膜探针头（3）包括支撑体（31）、薄膜（32）、探针（33）、互连线（34）；所述支撑体（31）的作用面（311）与薄膜（32）之间垫设有一支撑弹性层（35），该支撑弹性层（35）包括第一弹性体（351）和第二弹性体（352），第一弹性体（351）和第二弹性体（352）的弹力不相等，第一弹性体（351）和第二弹性体（352）在一个平面上相拼合，其连接处相抵形成拼接缝（354）；所述探针（33）与拼接缝（354）相对应，探针（33）的投影跨在拼接缝（354）上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 探针 及其 | ||
【主权项】：
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