[发明专利]一种激光加工光束质量监测系统及方法

摘要

本发明公开了一种激光加工光束质量监测系统，其包括第一分光镜，所述第一分光镜设有切割光路输入端、切割光路输出端、第二分光镜、反射镜、图像采集单元和平移驱动机构；还公开了一种激光加工光束质量监测方法，包括以下步骤：采集光束截面光斑图像、拟合光束轮廓曲线函数、评估焦距和发散角、评估光束质量M2和锐利长度Zr。本发明取得的有益效果：达到了监测结果准确的优点，并能够通过准确的光束质量M2和锐利长度Zr实现更准确的加工工艺判断，起到提高切割效率和割缝质量的效果的优点，有效提高光束质量M2的稳定性。