[发明专利]一种薄膜探针卡及其探针头有效
| 申请号： | 202111433608.X | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114167094B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 赵梁玉;于海超;王艾琳 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 徐丹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜探针卡及其探针头，其特征在于：薄膜探针头（3）的支撑体（31）的刚性作用面（311）与薄膜（32）之间设有一斜面抵靠结构（35），该斜面抵靠结构（35）包括动板（351）以及弹性件（352）；动板（351）与刚性作用面（311）两者中，一者上设有在探针（33）的轴向平面上倾斜的作用斜面（3111），而另一者上设有与作用斜面（3111）配合的配合部（3511），所述动板（351）与刚性作用面（311）通过配合部（3511）与作用斜面（3111）相抵配合；使测试时，配合部（3511）在作用斜面（3111）上发生滑动，探针（33）产生测量滑移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 探针 及其 | ||
【主权项】：
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