[发明专利]石英音叉压力传感器在审
| 申请号： | 202111433981.5 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114199418A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 褚伟航;裴志强;陶硕;刘旭强;张琳琳 | 申请（专利权）人： | 北京晨晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 么立双 |
| 地址： | 100020*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于传感器技术领域，提供一种石英音叉压力传感器，包括用于提供真空环境的壳体、设置在壳体内的框架、谐振音叉组件和Q值检测电极。谐振音叉组件包括音叉主体和音叉驱动装置，音叉主体与框架为一体结构。外界压力改变导致壳体内的真空度发生变化，真空度变化导致空气含量变化，空气含量变化导致阻尼变化，阻尼变化导致音叉Q值变化，由Q值检测电极对音叉Q值进行检测并输出，根据Q值的变化即可得出压力的变化。由于Q值对温度的敏感度低于压敏电阻的敏感度，并且音叉主体与框架均采用石英材质，且切型相同，热膨胀系数匹配，因此，温漂低于压阻式压力传感器。此外，在相同真空度变化范围内，Q值输出的灵敏度高于频率输出的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 音叉 压力传感器 | ||
【主权项】：
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