[发明专利]一种实现薄膜探针测量滑移的方法有效
| 申请号： | 202111435317.4 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114188310B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 赵梁玉;于海超;王艾琳 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 徐丹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种实现薄膜探针测量滑移的方法，其特征在于：在薄膜探针中的刚性作用面与上设探针的薄膜之间垫设一弹性体层；该弹性体层在探针的轴向平面上，以穿过探针的任一轴向线为界线，其一侧的厚度与另一侧的厚度具有一差值，以此使测试时探针能够发生偏转从而产生测量滑移，以穿透或推开被测芯片表层氧化物，实现更稳定地接触。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 薄膜 探针 测量 滑移 方法 | ||
【主权项】：
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